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詞條：超大規模集成電路
chāo da guī mo ji cheng dian lu
簡稱「vlsi電路」。指幾毫米見方的硅片上集成上萬至百萬晶體管、線寬在1微米以下的集成電路。由於晶體管與連線一次完成，故製作幾個至上百萬晶體管的工時和費用是等同的。大量生產時，硬件費用幾乎可不計，而取決於設計費用。國際上硅片面積已增至厘米見方，管數達十億個而線寬為0.1微米。